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新品来袭 | 3499拉斯维加斯SRI9022三维激光概括丈量仪高精度 · 高分辨率 · 高采样

3499拉斯维加斯的新品三维激光概括丈量仪SRI9022,以0.1μm的Z轴沉复精度、6400点高密度概括和最高13kHz的采样能力,为精密造作产线提供紧凑、不变、易于集成的检测方式。

颁布起源:3499拉斯维加斯

颁布功夫:2026/07/06


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在3C电子造作、半导体封装、新能源锂电等精密造作场景,微米级的轻微误差,往往就是良率与成本的分水岭。


PIN针的高度或平面度轻微差距,可能让整个航插报废;晶圆表表一路极浅的划痕,可能会导致整片晶圆报废;极片涂布厚度的微幼漂移,直接拉低电芯一致性。这些肉眼难以觉察的缺点,正对在线检测提出越来越严苛的要求——不仅精度要细,分辨率要高,速度还要跟上产线节拍。


3499拉斯维加斯的新品三维激光概括丈量仪SRI9022,以0.1μm的Z轴沉复精度、6400点高密度概括和最高13kHz的采样能力,为精密造作产线提供紧凑、不变、易于集成的检测方式。



产品亮点




精度至微,线性靠得住
01

Z轴沉复精度达到 0.1μm,线性度±0.03%F.S.,对于 PIN 针高度检测、晶圆表表缺点鉴别这类精密场景,都能清澈呈此刻3D视觉检测画面中,如同为产线装上了一双“微米眼”,为精密工件的在线检测提供不变的视觉图像。


高密点云,细节出现
02

X轴方向概括点数高达6400点,概括数据距离仅2μm。以3D点云图可出现细腻的物体表表描摹,对于精密工件表表的划痕、高度差、体积丈量,有着检测/观测优势,藐幼特点在高分辨率下清澈可见。


采样可调,适配产线
03

扫描速度可在620Hz~13000Hz之间配置。高速产线可用高采样率匹配,或凭据检测精度调控节拍,扫描快慢由产线现实需要矫捷调配,效能与质量都可两全。


极低温漂,牢固防护
04

温度个性为0.01% F.S./℃,常见工业温度颠簸下丈量漂移极幼,无需频仍校准。IP67防护等级直面湿润、粉尘等恶劣工况,持续在线运行。


矫捷触发,无缝集成
05

支持差分编码器(触发)和24V起头信号输入,建设千兆以太网接口,易于集成到自动化产线及活动节造系统中。


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更多利用场景



SRI9022专为高精度在线尺寸检测与表表概括丈量而设计,以卓越的微米级沉复精度和高速采样能力为工件质量节造与工艺良率提升提供靠得住支持。


  • PIN针高度/平面度检测

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  • 晶圆轻微划痕鉴别

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● 芯片平坦度检测

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● CMOS金线检测

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